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主要指標半導體石墨的選擇有哪些?

作者:jcshimo 發布時間:2023-11-15 15:58:02

     正級燒結石墨閘缽半導體作業是一個新式的科技產業,近年來備受重視,越來越多的公司開始進入半導體作業,而石墨已經成為半導體作業展開不可或缺的材料之一。半導體需求運用石墨的導電性,由于石墨的含碳量越高,導電性就會越好,一般需求考慮的方針有:粒度、耐熱性、純度。
    粒度對應不同的網格數,規范用網格數表明。網格是孔的數量,每平方英寸孔的數量。一般網孔x孔徑(微米)=15000。導電石墨的網目標準越大,顆粒標準越小,潤滑功用越好,可用于潤滑材料生產領域。半導體作業所用的粒度應該非常細,由于更簡略完結加工精度,抗壓強度高,損耗比較小,特別是關于燒結模具,要求加工精度高。
    粒度分布如:20目、40目、80目、100目、200目、320目、500目、800目、1200目、2000目、3000目、5000目、8000目、12500目,小可為15000目。
    許多產品在半導體作業的使用都是需求連續加熱的,為了延伸器件的運用壽命,這就要求導電石墨具有以下功用:優異的可靠性和耐高溫沖擊功用。
    半導體工業生產石墨的要求是:純度越高越好,特別是兩者之間觸摸的石墨器件,假如雜質太多,會污染半導體材料。因此,我們需求嚴格控制導電石墨的純度,還需求將其經過高溫石墨化工藝,以大限度地降低灰級。